等离子体分解法，等离子体分解氯氟烃技术已经到了试用阶段，此技术可在短时间内进行大量的氯氟烃等气体的处理。此过程中采用两个系统，第一个系统利用高频等离子体急速加热，使温度达到10000℃利用等离子体的化学作用于水蒸气接触进行分解的超高温加水系统，第二个系统是将高温分解的排气极冷到80℃以下的排气系统，该系统是氯氟烃和水蒸气的供给装置等离子体发生装置、反应炉、冷却管以及排水处理装置等构成。