有机废气处理氧化法，也是一种消除法，有直接燃烧、热氧化、催化燃烧、生物氧化降解法、等离子体法、紫外光化氧化法及其集成技术；消除法主要是通过化学或生物反应，用热、光、催化剂和微生物将有机气象污染物转变为二氧化碳和水等无毒无害的小分子化合物。

       燃烧法，分为直接燃烧法和催化燃烧法。直接燃烧是指对高浓度有机废气用燃油或者燃气作为辅助材料，在高温下直接分解为无毒害物质。多数情况下，有机物浓度较低，不足以在没有辅助燃料时燃烧。直接火焰燃烧在适当温度和保留时间条件下，可以达到99%热处理效率。此法工艺简单，适用于小风量及高浓度废气，对安全技术和操作要求很高。

       催化燃烧法，是指在燃烧设备中，有机废气先被预热后，通过催化床层的作用，在较低的温度下和较短的时间内完成化学反应过程。目前使用的金属催化剂主要是Pt、Pd，技术成熟而且催化活性高，但价格比较昂贵而且在处理含有NSP的卤素有机物时，有机物易发生氧化作用使催化剂失活；非金属催化剂有过渡族元素钴、稀土等。例如，V2O5+MOX(M：过渡族金属)+贵金属制成的催化剂用于治理甲硫醇废气；Pt+Pd+CuO催化剂用于治理含氮有机醇废气。